在無塵車間當中,首先要說的就是進風系統,關于任何一個無塵車間來說,為了能夠有效的提升空氣的清潔度,就必需求安裝進風系統,除了進風系統之外,還必需求安裝回風系統,只需這兩個系統同時運用,才干夠有效的改換空間內的空氣,其中最主要的就包括各種過濾箱,另外還有中央凈化空調。
當然無塵車間當中的凈化設備還有很多,不只只需上面所說的這些,關于10-1000級的無塵車間而言,在樹立的過程當中,還必需求安裝垂直層流工作臺,另外還包括自凈器和潔凈棚,除此之外,當工作人員進入到該車間之內,為了保證車間內空氣的清潔度,還必需求樹立緩沖區。
在緩沖區當中必需求設置潔凈儲衣柜(wardrobe)和空氣清新機,從而能夠保證工作服的清潔度。凈化車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中消費、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
關于任何一個無塵車間來說,都需求包含上面所說的這些設備,只需安裝這些設備之后才干夠有效的提升空氣清潔度,當然關于垂直層流工作臺,假設無塵車間的等級不算太高的話,則無需安裝這樣的清潔設備。